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电子级超纯水与普通超纯水的区别

更新时间:2024-09-05        阅读:103

电子级超纯水与普通超纯水的区别

项目

电子级超纯水

普通超纯水

应用领域

电子行业和半导体行业

实验室分析、工业生产或工业清洗

满足国家标准

GB/T11446.1-2013电子级水国家标准

GBT6682-2008分析实验室用水国家标准和GBT33087-2016仪器分析用高纯水规格及试验方法

电子级EW-I和超纯水I级

电阻率≥18MΩ.cm(5%的时间不低于17)

电阻率≥10MΩ.cm

电子级EW-II和超纯水II级

电阻率≥15MΩ.cm(5%的时间不低于13)

电阻率1-10MΩ.cm之间

全硅(ug/L)

电子级I级≤2ppb   电子级I级≤10ppb

I级≤10ppb  II级≤20ppb

微颗粒(个/L)

电子级I级:对各种粒径具有要求,如?0.2-0.3μm≤50个/L,?0.3-0.5μm≤20个/L,?0.5μm以上≤4个/L

不做具体要求

细菌个数(个/ml)

电子级I级≤0.01个  电子级II级≤0.1个

视不同用途,不同的要求,符合客户需求即可

金属离子含量(ppb)

电子级I级:对(铜、锌、镍、钠、钾、铁、铅)都有具体的要求,且要求高,需要控制到≤0.1ppb或0.5ppb

超纯水I级:只有钠离子≤1ppb有要求,其他无具体要求

非金属离子含量(ppb)

电子级I级:对(氟、氯、亚硝酸根、溴、硝酸根、磷酸根、硫酸根)都有具体的要求,需要控制到≤1ppb

超纯水I级:仅对氯离子有要求需要控制到≤1ppb

TOC值

电子级I级≤20ppb   电子级I级≤100ppb

超纯水I级≤50ppb

说明:综上所述,电子级超纯水I级对微颗粒、TOC值、细菌要求高,因此对电子级超纯水设备的管道要求高一般需要采用CLear-PVC或者PVDF材质,以及需要配专门的降TOC的消解器

电子级超纯水设备.jpg

卓水越电子级超纯水系统

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